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3軸加速度在線振動(dòng)傳感器

更新時(shí)間:2023-12-28

訪問(wèn)量:308

廠商性質(zhì):代理商

生產(chǎn)地址:

簡(jiǎn)要描述:
3軸加速度在線振動(dòng)傳感器
常用于:半導(dǎo)體 晶片生產(chǎn)中使用的多關(guān)節(jié)機(jī)器人的振動(dòng)檢查,
生產(chǎn)半導(dǎo)體晶片時(shí),必須使用多關(guān)節(jié)機(jī)器人進(jìn)行生產(chǎn),3軸加速度傳感器MA3系列"可以檢測(cè)到發(fā)生了異常的沖擊,
3軸加速度傳感器MA3系列"通過(guò)模擬電壓的變化輸出X、Y、Z方向的加速度。輸出可導(dǎo)入PLC,設(shè)置閾值進(jìn)行判定
品牌MICROSTONE/微石

3軸加速度在線振動(dòng)傳感器

3軸加速度在線振動(dòng)傳感器


3軸加速度傳感器引線型

半導(dǎo)體晶片生產(chǎn)中使用的多關(guān)節(jié)機(jī)器人的振動(dòng)監(jiān)視開(kāi)發(fā)·面向品質(zhì)管理的事例介紹

生產(chǎn)半導(dǎo)體晶片時(shí),必須使用多關(guān)節(jié)機(jī)器人進(jìn)行生產(chǎn)。

在這種情況下,機(jī)器人搬運(yùn)時(shí)給產(chǎn)品帶來(lái)的異常沖擊會(huì)導(dǎo)致產(chǎn)品質(zhì)量劣化,因此是一個(gè)很大的課題。

因此,本公司產(chǎn)品的“3軸加速度傳感器MA3系列"可以檢測(cè)到發(fā)生了異常的沖擊,因此有組裝到機(jī)器人中使用的例子。

“3軸加速度傳感器MA3系列"通過(guò)模擬電壓的變化輸出X、Y、Z方向的加速度。輸出可導(dǎo)入PLC,設(shè)置閾值進(jìn)行判定。

根據(jù)判定結(jié)果通知異常,根據(jù)情況也可以停止設(shè)備。

“3軸加速度傳感器MA3系列"有通用型和高頻型兩種,可以根據(jù)產(chǎn)生的加速度的頻帶選擇。

另外,根據(jù)發(fā)生的加速度的大小,也可以選擇測(cè)量范圍。

設(shè)備狀態(tài)監(jiān)測(cè)的最佳一臺(tái)建議!

支持高G、高頻的3軸加速度傳感器

不需要內(nèi)置放大器工程,連接也很簡(jiǎn)單。

國(guó)內(nèi)生產(chǎn)、高品質(zhì)、公司內(nèi)部校正品質(zhì)支持體制完備。

沖壓機(jī)發(fā)生異常時(shí)自動(dòng)停止,防止模具破損和成品率下降

拾音器的對(duì)應(yīng)幅度很豐富。沖壓機(jī)的高G高頻的沖擊也能測(cè)量。

不僅是加工裝置的異常發(fā)生,還進(jìn)行原因的確定,提高成品率、生產(chǎn)效率

通過(guò)對(duì)加速度的測(cè)量數(shù)據(jù)進(jìn)行頻率分析等,確定發(fā)生異常預(yù)兆的部件。

將切削加工裝置與其他公司制造的PLC(序列發(fā)生器)連接,也可以進(jìn)行導(dǎo)入成本低的異常監(jiān)視

因?yàn)槭莾?nèi)置放大器,所以只需直接連接已經(jīng)導(dǎo)入的PLC就可以測(cè)量。


型式検出範(fàn)囲
5VDC入力時(shí)3VDC入力時(shí) ※1
MA3-04AD±40m/s2
(±4G)
±20m/s2
(±2G)
MA3-10AD±100m/s2
(±10G)
±50m/s2
(±5G)
MA3-20AD±200m/s2
(±20G)
±100m/s2
(±10G)
MA3-50AD±500m/s2
(±50G)
±250m/s2
(±25G)
MA3-100AD±1000m/s2
(±100G)
±500m/s2
(±50G)
MA3-1000AD±10000m/s2
(±1000G)
±10000m/s2
(±1000G)

※1 弊社モーションレコーダーシリーズに接続した場(chǎng)合、こちらの検出範(fàn)囲になります。

検出感度
型式検出感度
MA3-04AD50mV/m/s2 ±10%
(500mV/G ±10%)
MA3-10AD20mV/m/s2 ±10%
(200mV/G ±10%)
MA3-20AD10mV/m/s2 ±10%
(100mV/G ±10%)
MA3-50AD4mV/m/s2 ±10%
(40mV/G ±10%)
MA3-100AD2mV/m/s2 ±10%
(20mV/G ±10%)
MA3-1000AD0.1mV/m/s2 ±10%
(1.0mV/G ±10%)
オフセット電圧
型式オフセット電圧
MA3-04ADVcc/2 ±0.2V
MA3-10ADVcc/2 ±0.1V
MA3-20AD
MA3-50AD
MA3-100AD
MA3-1000AD


応答周波數(shù)
型式応答周波數(shù) ※2
MA3-04AD0.8~1000Hz
MA3-10AD
MA3-20AD
MA3-50AD
MA3-100AD
MA3-1000AD0.8~2000Hz

※2 ±3dBにて規(guī)定

非直線性
型式非直線性
MA3-04AD±2%FS
MA3-10AD
MA3-20AD
MA3-50AD
MA3-100AD
MA3-1000AD±1.5%FS
その他仕様?定格
項(xiàng)目仕様?定格
供給電圧(Vcc)3~5VDC
消費(fèi)電流0.5mA未満
他軸感度±10%
動(dòng)作溫度?20~80℃
保存溫度?30~90℃
最大印加電圧7V

1






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