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3軸加速度在線振動(dòng)傳感器
3軸加速度傳感器引線型
半導(dǎo)體晶片生產(chǎn)中使用的多關(guān)節(jié)機(jī)器人的振動(dòng)監(jiān)視開(kāi)發(fā)·面向品質(zhì)管理的事例介紹
生產(chǎn)半導(dǎo)體晶片時(shí),必須使用多關(guān)節(jié)機(jī)器人進(jìn)行生產(chǎn)。
在這種情況下,機(jī)器人搬運(yùn)時(shí)給產(chǎn)品帶來(lái)的異常沖擊會(huì)導(dǎo)致產(chǎn)品質(zhì)量劣化,因此是一個(gè)很大的課題。
因此,本公司產(chǎn)品的“3軸加速度傳感器MA3系列"可以檢測(cè)到發(fā)生了異常的沖擊,因此有組裝到機(jī)器人中使用的例子。
“3軸加速度傳感器MA3系列"通過(guò)模擬電壓的變化輸出X、Y、Z方向的加速度。輸出可導(dǎo)入PLC,設(shè)置閾值進(jìn)行判定。
根據(jù)判定結(jié)果通知異常,根據(jù)情況也可以停止設(shè)備。
“3軸加速度傳感器MA3系列"有通用型和高頻型兩種,可以根據(jù)產(chǎn)生的加速度的頻帶選擇。
另外,根據(jù)發(fā)生的加速度的大小,也可以選擇測(cè)量范圍。
設(shè)備狀態(tài)監(jiān)測(cè)的最佳一臺(tái)建議!
支持高G、高頻的3軸加速度傳感器
不需要內(nèi)置放大器工程,連接也很簡(jiǎn)單。
國(guó)內(nèi)生產(chǎn)、高品質(zhì)、公司內(nèi)部校正品質(zhì)支持體制完備。
沖壓機(jī)發(fā)生異常時(shí)自動(dòng)停止,防止模具破損和成品率下降
拾音器的對(duì)應(yīng)幅度很豐富。沖壓機(jī)的高G高頻的沖擊也能測(cè)量。
不僅是加工裝置的異常發(fā)生,還進(jìn)行原因的確定,提高成品率、生產(chǎn)效率
通過(guò)對(duì)加速度的測(cè)量數(shù)據(jù)進(jìn)行頻率分析等,確定發(fā)生異常預(yù)兆的部件。
將切削加工裝置與其他公司制造的PLC(序列發(fā)生器)連接,也可以進(jìn)行導(dǎo)入成本低的異常監(jiān)視
因?yàn)槭莾?nèi)置放大器,所以只需直接連接已經(jīng)導(dǎo)入的PLC就可以測(cè)量